设备选型表

产品 规格 型号 尺寸(mm) 装片量(片/批)
常压扩散 四管 HDS320-4A 7400*2100*2750 600
五管 HDS320-5A 7400*2100*3300
常压退火/氧化 四管 HDS320-4A 7400*2100*2750 1200
五管 HDS320-5A 7400*2100*3300
低压扩散 四管 HDS320-4B 7400*2100*2750 1200
五管 HDS320-5B 7400*2100*3300
低压退火/氧化 四管 HDS320-4B 7400*2100*2750 1200
五管 HDS320-5B 7400*2100*3300
PECVD 四管 HPE450-4B 7350*2050*2830 432
五管 HPE450-5B 7350*2050*3450
石墨舟自动
装卸片机
离线 FWT-OL-A 7000*2100*2000 4800/小时
在线 FWT-IL-A 7000*2100*2000
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