设备选型表

 

产品

规格

型号

尺寸(mm)

装片量(片/

常压扩散炉/退火炉/氧化炉

两管

HDS320-2A

6850*1400*2700

常压扩散500

退火炉/氧化炉1000

三管

HDS320-3A

6870*1400*2700

四管

HDS320-4A

6870*1800*3250

五管

HDS320-5A

6870*1800*3800

低压

扩散炉

两管

HDS320-2B

7370*1800*2700

1000

三管

HDS320-3B

7370*1800*2700

四管

HDS320-4B

7370*1800*3250

五管

HDS320-5B

7370*1800*3800

PECVD

单管

HPE420-1A

7050*1400*1900

308

两管

HPE420-2A

7050*1400*1900

三管

HPE420-3A

7050*2200*2550

四管

HPE420-4A

7050*2200*3200

石墨舟

自动装卸片机

离线

FWT-OL-A

3710*2000*2345

兼容216~308片石墨舟

在线

FWT-IL-A

3710*2000*2345

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