一、设备用途:

本设备主要用于晶体硅太阳电池制造中与管式PECVD配套对硅片进行装卸。即将硅片从料盒中自动装载至石墨舟中,同时将石墨舟中已经完成工艺处理的硅片自动装载至料盒中。

二、技术特点:

1、应用:管式PECVD石墨舟硅片自动装卸

2、单台产能12舟/小时(离线式)

3、国内首创非机械手式全新技术方案,显著的性价比优势

4、适用管式各类PECVD接口

5、有效工作时间>97%

三、技术指标:

产品种类

WIL(在线式)

WOL(离线式)

型号

FWT-IL

FWT-OL-A

适用硅片

125mm/156mm(单、多晶)

125mm/156mm(单、多晶)

碎片率

<0.1%

<0.1%

产能

1800 pcs/h

3000 pcs/h(12/小时)

硅片厚度

130~240um

130~240um

UP-TIME

97%

97%

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