一、设备用途:

本设备主要用于晶体硅太阳电池制造中与管式PECVD配套对硅片进行装卸。即将硅片从料盒中自动装载至石墨舟中,同时将石墨舟中已经完成工艺处理的硅片自动装载至料盒中。

二、技术特点:

1、应用:管式PECVD石墨舟硅片自动装卸

2、双通道上下料系统,花篮兼容100片\50片

3、瑞士STABULI 机械手

4、适用管式各类PECVD接口

5、预留色差检测模块安装位和接口,方便客户选配

6、石墨舟类型可根据客户要求定制

三、技术指标:

产品种类

WIL(在线式)

WOL(离线式)

型号

FWT-IL-A

FWT-OL-A

适用硅片

156mm/162.75mm(单、多晶)

156mm/162.75mm(单、多晶)

碎片率

<0.05%

<0.05%

产能

4800 pcs/h

4800 pcs/h(12/小时)

硅片厚度

140um

140um

UP-TIME

99%

99%

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