按照SEMI标准,采用HSMS通讯协议建立适应高效光伏生产线要求MES(ManufacturingExecution System)系统,在高效晶体硅电池生产过程中自动监控传输各种重要特征数据,对精细化管理提供了重要的制程数据。本MES系统,包含了主机台本身运行情况的信息、对晶硅电池片特性有影响的各种重要参数,及晶硅片在载体的传输路径。并通过扩散氧化系统设备、PECVD设备的在线自动化,完全实现了整线高效自动化管理模式。
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